연구업적
논문 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2024-11-14 | Utilization of Machine Learning and Explainable Artificial Intelligence (XAI) for Fault Prediction and Diagnosis in Wafer Transfer Robot |
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2024-03-01 | [3-3차년도]설명가능한 인공지능을 이용한 반도체 공정 장비 오류진단 시스템 개발 |
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2025-11-11 | 동적 장비의 결함 예측 진단 및 결함 원인 판단 시스템 및 방법 |
학술대회발표 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2024-11-04 | Condition-Based Monitoring for Failure Detection and Cause Identification in Wafer Transfer Robot Using Machine Learning and Explainable Artificial Intelligence Algorithms |
| 2023-10-06 | Predictive Maintenance System for Wafer Transfer Robot Using Gaussian Mixture Model and Mean-Shift Clustering |